История кафедры микро- и наноэлектроники

История кафедры начинается 1 сентября 1964 года, когда в Минском радиотехническом институте была организована кафедра «Радиотехнических материалов». И этот же год стал началом подготовки инженеров по специальности «Полупроводники и диэлектрики», которая послужила прародительницей трех специальностей, выпускаемых кафедрой в настоящее время. Заведующим кафедрой «Радиотехнические материалы» был назначен кандидат технических наук, доцент Морозов Мстислав Георгиевич. В состав кафедры в то время входила только одна учебная лаборатория - лаборатория радиотехнических материалов, которая обслуживала все специальности института.

В августе 1966 года заведующей кафедрой становится кандидат технических наук, доцент Воробей Зоя Фадеевна. В июне 1967 года в связи с тем, что кафедра была выпускающей по специальности «Полупроводники и диэлектрики», она была переименована в кафедру «Полупроводники и диэлектрики». В последующие несколько лет на кафедре были развернуты новые учебные лаборатории: «Физика полупроводников», «Физика диэлектриков», «Технология производства полупроводниковых материалов», «Технология производства активных диэлектриков», «Теория магнетизма», «Технология и испытание активных элементов», «Вакуумная техника», «Материалы электронной техники», «Квантовая электроника». В их создании участвовали первые преподаватели кафедры Лещенко И. Н., Лабунов В. А., Маев А. А., Самохвалов К. П., Кураева С. Н., Раткевич Л. М., Пацко А. И., Ильич Н. П., Родионов Ю. А.

Первый выпуск студентов по специальности «Полупроводники и диэлектрики» состоялся в 1969 году. Председателем государственной экзаменационной комиссии был генеральный директор производственного объединения «Интеграл» Петр Петрович Гойденко. Абсолютное большинство выпускников пошли работать на ПО «Интеграл» и ПО «Горизонт».

Первая диссертация на соискание степени доктора технических наук на кафедре была подготовлена и защищена в 1974 году Лабуновым Владимиром Архиповичем. В 1975 году его избирают заведующим кафедрой. Начался новый этап в развитии кафедры. Ее основным научным и учебным направлением становится микроэлектроника. Кафедра проводит фундаментальные и прикладные исследования в области низкотемпературных электрохимических и ионно плазменных технологических процессов, которые открыли новые перспективы совершенствования технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Разработки кафедры успешно внедряются на предприятиях электронной промышленности как в Белоруссии, так и в других республиках СССР. Быстро растет научный потенциал кафедры. Приходят новые аспиранты и соискатели, среди которых Косаревич Е. М., Колосницын Б. С., Казанцев А. П., Сокол В. А., Стешенко П. П., Хараневич В. В., Стельмах В. Т., Бондаренко В. В., Смирнов А. Г., Лыньков Л. М. Научные достижения молодых ученых Курмашева В. И., Бондаренко В. В., Смирнова А. Г., Лынькова Л. М. в 1975 году были отмечены Премией Ленинского комсомола Белоруссии.

В 1972 году на кафедре была открыта первая в Белоруссии Проблемная лаборатория «Электролитические и плазменные процессы в микроэлектронике», научный руководитель Лабунов В. А., заведующий лабораторией Сокол В. А. Эту лабораторию посетили выдающиеся ученые страны, такие как Алферов Ж. И., Степаненко И. П., президент Сибирского отделения Академии Наук Марчук Г. И. и многие другие. В это время на кафедре работало более 200 научных сотрудников и преподавателей.

Достижения сотрудников кафедры в бурно развивающейся микроэлектронике позволили в 1984 году преобразовать учебную специальность «Полупроводники и диэлектрики» в специальность «Основы микроэлектроники» и начать подготовку инженеров по этой специальности. В эти годы модернизируются существующие и создаются новые учебные лаборатории: «Микроэлектроника», «Функциональная микроэлектроника», «Технологические процессы микроэлектроники» «Измерение и испытание элементов интегральных микросхем». Научные достижения тех лет отмечены в 1986 году Премией Ленинского комсомола Белоруссии (Грибковский В. В., Пристрем А. М., Заровский Д. И., Корнилов С. Н., Новик А. В., Юдин С. Г., Калошкин А. Э., Мотуз А. Н.), Государственной Премией БССР в 1989 г. (Черных А.Г. в составе коллектива сотрудников ПО «Интеграл») и Государственной Премией Республики Беларусь в 1992 году (Лабунов В. А. и Баранов И.Л. в составе коллектива сотрудников ПО «Интеграл»). Подготовлен и защищен ряд докторских диссертаций: Борисенко В. Е. (1988), Сокол В. А. и Суходольский А. М. (1989), Курмашев В. И. (1990), Пархутик В. П. (1991), Квасов Н. Т. (1992), Стекольников А. Ф. и Абрамов И. И. (1993), Лыньков Л. М. (1994). В 1995 году заведующим кафедрой избирается доктор технических наук Сокол Виталий Александрович. Под его руководством совершенствуется и развивается оригинальная технология создания гибридных микросхем. В 1999 году он в составе коллектива сотрудников ПО «Интеграл» становится лауреатом Государственной Премии Республики Беларусь.

Начиная с 1995 года в научных подразделениях кафедры начинаются активно проводиться исследования в областях наноэлектроники и нанотехнологии, и как следствие создается первая в Белоруссии научно исследовательская «Лаборатория наноэлектроники и новых материалов» (научный руководитель профессор В. Е. Борисенко), которая в 2001 году получает статус Центра коллективного пользования; организуется и проводится первая Международная конференция по физике, химии и применению наноструктур «Nanomeeting-95», которая впоследствии традиционно проводится каждые два года; в учебный план подготовки инженеров по микроэлектронике вводится новая дисциплина «Наноэлектроника». В 2002 году специальность «Микроэлектроника» преобразуется в специальность «Микро- и наноэлектронные технологии и системы». В этом же году кафедра начинает подготовку инженеров по новой для Беларуси учебной специальности «Квантовые информационные системы». Продолжается защита докторских диссертаций: Величко О. И. (1996), Нелаев В. В. (2001), Смирнов А. Г. (2003), Гапоненко Н. В. (2004), Дворников О.В. (2007), Лазарук С.К. (2008).

В апреле 2005 года заведующим кафедрой назначается доктор физико-математических наук профессор Борисенко Виктор Евгеньевич. Кафедра получает новое наименование кафедра «Микро- и наноэлектроники». В этом же году впервые выпускник кафедры Холод А. Н. защитил докторскую диссертацию за рубежом - в Средиземноморском университете (Марсель, Франция). Всего на кафедре к тому времени было подготовлено и защищено 15 докторских и более 130 кандидатских диссертаций.

В 2009-2013 годах укрепляется связь с филиалом кафедры на ОАО «Интеграл». Сотрудники филиала (в том числе главный инженер ОАО «Интеграл», д.т.н. Турцевич А.С.) читают лекции, проводят практические и лабораторные занятия, ведут курсовое проектирование по переданным на филиал дисциплинам «Основы микроэлектроники» и «Микросхемотехника». Занятия проводятся в учебных классах ОАО «Интеграл» и на производственных участках модуля 7.

С 1 сентября 2009 г. кафедра начала подготовку инженеров по специальности ХХI века «Нанотехнологии и наноматериалы в электронике».

В 2010 году усилиями кафедры создан первый в Республике Беларусь Совет по защите докторских диссертаций по специальности «Нанотехнологии и наноматериалы», председателем которого назначен Борисенко В.Е., а членами Совета стали профессора кафедры: Мигас Д.Б., Лазарук С.К. и Гапоненко Н.В. В нем были защищены одна диссертация на соискание степени доктора физико-математических наук (Мигас Д.Б.) и семь кандидатских (Прудникова Е. Л., Строгова А. С., Костров А. И., Пушкарчук В.А., Подрябинкин Д.А., Чубенко Е.Б., Плиговка А.Н.) диссертаций.

В 2010 году проведена первая в республике Международная школа-семинар по нанотехнологиям и наноматериалам.

В 2012 и 2013 гг. на кафедре проводился республиканский отборочный тур международного конкурса по проектированию микроэлектроники, финансируемый компанией Synopsis-Armenia.

В эти же 2009-2013 г., проводятся, организованные кафедрой МНТК:
«Nanomeeting»(2009, 2011, 2013), «Перспективные технологии дисплеев и светоизлучающих структур (2011)», «NDTCS: Нанодизайн, технология, компьютерное моделирование» (2013).

В настоящее время на кафедре работает 23 преподавателя: 8 докторов наук, профессоров, 13 кандидатов наук, доцентов, 2 старших преподавателя.
Более 90% преподавателей имеют ученую степень и звание.
Учебный процесс обеспечивает 5 учебных лабораторий. Обучение на второй ступени высшего образования (магистратура) проводится по двум специальностям: «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах», «Нанотехнологии и наноматериалы в электронике». Научные исследования ведутся в 9 научно-исследовательских лабораториях и Центре наноэлектроники и новых материалов, где вместе с научными сотрудниками в исследованиях участвовали студенты, магистранты и аспиранты. Ежегодно аспирантуру заканчивает 8-9 человек по 4 специальностям: «Физическая электроника», «Физика конденсированного состояния», «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника и приборы на квантовых эффектах», "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике". Опубликовано 22 монографии и учебников, среди последних:
1. Белоус А.И., Турцевич А.С., Чигирь Г.Г., Емельянов А.В. - Методы повышения надежности микросхем тестовых структур (монография), Гомель: УО и ГГУ им.Ф.Скорины, 2011 г. - 239 с.
2. V.E.Borisenko, C.Ossicini What in the Nanoworld. Third, Revised and Enlarged Edition (Wiley-VcH, Weinheim, 2012), 601 p.
3. И.И. Абрамов. Лекции по моделированию элементов интегральных схем микроэлектроники. Учебное пособие. LAP LAMBERT Academic Publishing, Saarbrücken, Germany. 2012 г. - 116 c.
4. И.Абрамов. Мозг как объект электроники. Монография. LAP LAMBERT Academic Publishing, Saarbrücken, Germany, 2012 г. - 80 c.
5. В.Е.Борисенко, А.И.Воробьева, А.Л.Данилюк, Е.А.Уткина. Наноэлектроника: теория и практика. Учебник для студентов по специальностям «Микро- и наноэлектронные технологии и системы», «Квантовые информационные системы», «Нанотехнологии и неаноматериалы в электронике». Москва, Бином, Лаборатория знаний, 2013 г. - 366 с.

Учебно-методические возможности кафедры и высокий научный потенциал его сотрудников позволяют готовить высокообразованных профессионально подготовленных специалистов в области высоких технологий проектирования микро- и наноэлектронных изделий.